適用范圍
本設備專(zhuān)為高級清洗和蝕刻而設計,適用于前道和后道工藝清洗,可根據客戶(hù)需求定制適用于8寸/12寸硅片清洗。
產(chǎn)品亮點(diǎn)
設備內部集成精密的化學(xué)藥液配比裝置和廢液回收裝置,同時(shí)可根據客戶(hù)需求可定制2/4/6/8/12/16腔室,單腔室最大處理速度可達到35片/小時(shí)。
靈活性
線(xiàn)體可根據客戶(hù)需求進(jìn)行非標定制,同時(shí)整線(xiàn)采用柔性設計,設備可任意拼接搭配,可適用不同場(chǎng)景,讓客戶(hù)使用更能隨心所欲。